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三十萬級無塵淨化車間

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三十萬級無塵車間作用✘•₪₪✘:

潔淨室最主要之作用在於控制產品(如矽晶片等)所接觸之大氣的潔淨度日及溫溼度☁✘│,使產品能在一個良好之環境空間中生產││◕◕◕、製造☁✘│,此空間我們稱之為「潔淨室」.


世界各國均有自定規格☁✘│,但普遍還是用美國聯邦標準209為多☁✘│,以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較↟•✘☁☁。


209E與209D等最大之不同在於209E表示單位增加了公制單位☁✘│,潔淨室等級以‵M′字頭表示☁✘│,如M1││◕◕◕、M1.5││◕◕◕、M2.5││◕◕◕、M3…..依此類推☁✘│,配合國際公制單位之標準化☁✘│,M字母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數目字以10的冪次方表示☁✘│,取指數為之☁✘│,若微塵粒子數介於前後二者完全冪次方之間☁✘│,則以1.5││◕◕◕、2.5││◕◕◕、3.5….表示↟•✘☁☁。

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