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十萬級無塵車間

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十萬級無塵車間作用☁☁:
潔淨室最主要之作用在於控制產品(如矽晶片等)所接觸之大氣的潔淨度日及溫溼度▩╃,使產品能在一個良好之環境空間中生產│☁、製造▩╃,此空間我們稱之為「潔淨室」◕╃•☁。

世界各國均有自定規格▩╃,但普遍還是用美國聯邦標準209為多▩╃,以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較◕╃•☁。


209E與209D等最大之不同在於209E表示單位增加了公制單位▩╃,潔淨室等級以‵M′字頭表示▩╃,如M1│☁、M1.5│☁、M2.5│☁、M3…..依此類推▩╃,配合國際公制單位之標準化▩╃,M字母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數目字以10的冪次方表示▩╃,取指數為之▩╃,若微塵粒子數介於前後二者完全冪次方之間▩╃,則以1.5│☁、2.5│☁、3.5….表示◕╃•☁。

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